Para entrega de gás UHP em semicondutores e outras indústrias limpas.
Usado como válvula de corte de gás.
Nenhuma mola é usada para as partes molhadas e a parte de acionamento também é separada do diafragma. O espaço morto no caminho do fluxo é pequeno para suprimir a geração de partículas.
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